论文研究-InP/GaAs异质外延低温InGaP组分渐变缓冲层中的位错和应变研究 .pdf

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文件名称：论文研究-InP/GaAs异质外延低温InGaP组分渐变缓冲层中的位错和应变研究 .pdf

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更新时间：2022-09-09 11:24:04

异质外延

InP/GaAs异质外延低温InGaP组分渐变缓冲层中的位错和应变研究，刘红兵，，理论分析了组分渐变缓冲层中错配位错和穿透位错的产生机理和二者之间的关系。采用低温GaAs与低温组分渐变InxGa1-xP作为缓冲层，利用��