论文研究-MEMS气体传感器微热盘建模与仿真 .pdf

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文件名称：论文研究-MEMS气体传感器微热盘建模与仿真 .pdf

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更新时间：2022-09-03 11:03:19

微电子与固体电子学

MEMS气体传感器微热盘建模与仿真，张卫东，丁恩杰，本文设计了两种以Pt为加热电极，SiO2为绝缘层的MEMS气体传感器的微盘模型。通过有限元仿真分析了两种微热盘的稳态特性，加热温度达��