文件名称：论文研究-基于Al/TiOx/Al结构的低成本双极性阻变存储器件 .pdf
文件大小：477KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-07 07:45:58
微电子学与固体电子学
基于Al/TiOx/Al结构的低成本双极性阻变存储器件，李颖弢，袁鹏，本文基于与CMOS工艺完全兼容的TiOx二元金属氧化物材料，采用价格低廉的金属Al作为上下电极，制备了一种成本低廉的Al/TiOx/Al RRAM存储器��
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