论文研究-基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法 .pdf

【文件属性】：

文件名称：论文研究-基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法 .pdf

文件大小：343KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-05 08:33:33

MEMS

基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法，王磊，宋竞，本文给出了一种基于工艺模拟的MEMS结构断裂失效概率计算方法，充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响，使得预测结果更加准确。并��