Ka波段硅基MEMS滤波器* (2008年)

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文件名称：Ka波段硅基MEMS滤波器* (2008年)
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更新时间：2021-05-09 17:39:17
工程技术 论文 滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件，本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器。设计制作了MEMS滤波器的核心部件谐振器，测试结果显示该谐振器无载Q值大于180，频率误差控制在2%以内。以此为基础采用理论计算与实验设计相结合的方法设计了一个Ka波段硅基MEMS滤波器。滤波器中心频率为30.3GHz，插入损耗1.5dB，相对带宽5%。芯片尺寸为10.0mm×2.8mm×0.4mm。