文件名称：Co-Fe-Si体系中化学输运的研究
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更新时间：2024-07-19 15:50:10
学术 论文
Untersuchungen zum chemischen Transport im System Co-Fe-Si 高温化学气相沉积氧化铝使用三异丙醇铝和氧气混合物 S. Blittersdorf, N. Bahlawane, B. Atakan, K. Kohse-Höinghaus* Institut für Physikalische-Höinghaus I,比勒费尔德大学； Universitätsstraße 25, D-33615 Bielefeld 氧化铝； 三异丙醇铝 不锈钢是氧化和腐蚀环境中高温应用最常见的工业材料之一。 在这种工作条件下，保护性氧化物涂层对于可靠的服务至关重要。 在这种情况下，氧化铝涂层是一种公认的保护材料。 它作为保护层的有效性取决于它的密度、它在金属上的附着力和它的抗开裂能力。 氧化铝的化学气相沉积传统上是使用 AlCl3/H2/CO2 混合物实现的，这种混合物产生的结晶氧化铝通常具有大晶粒和高Kong隙密度。 这种气体混合物的缺点是在涂层过程中在不锈钢表面产生 HCl，这是一种化学物质，会导致界面降解，影响薄膜的粘附性能。 在氧源存在下的