蓝宝石衬底AlGaN/GaN功率HEMTs研制 (2004年)

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文件名称:蓝宝石衬底AlGaN/GaN功率HEMTs研制 (2004年)

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更新时间:2024-05-28 20:22:22

工程技术 论文

基于蓝宝石衬底的高微波特性AlGaN /GaN HEMTs功率器件,器件采用了新的欧姆接触和新型空气桥方案。测试表明,器件电流密度0.784A/mm,跨导197mS/mm,关态击穿电压>80V,截止态漏电很小,栅宽1mm的器件的单位截止频率(fT)达到20GHz,最大振荡频率(fmax)28GHz,2GHz脉冲测试下,栅宽0.75mm器件,功率增益11.8dB,输出功率31.2dBm,功率密度1.75W/mm。


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