论文研究-电容式微机械陀螺裸芯片测试技术 .pdf

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更新时间：2022-09-05 08:52:07

微机械陀螺

电容式微机械陀螺裸芯片测试技术，郭俊敏，邓中亮，MEMS微机械陀螺发展日益兴盛，需求也越来越大。但当今陀螺的设计加工技术依然不是很完善，往往一批产品出来会有很多废品。如何简��