论文研究-电容式微机械陀螺裸芯片测试技术 .pdf

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文件名称：论文研究-电容式微机械陀螺裸芯片测试技术 .pdf
文件大小：323KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-05 08:52:07
微机械陀螺 电容式微机械陀螺裸芯片测试技术，郭俊敏，邓中亮，MEMS微机械陀螺发展日益兴盛，需求也越来越大。但当今陀螺的设计加工技术依然不是很完善，往往一批产品出来会有很多废品。如何简��