光干涉技术在纳米精度测量中的应用及发展

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文件名称：光干涉技术在纳米精度测量中的应用及发展

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更新时间：2015-09-03 04:13:45

光干涉 纳米测量

摘要分析了几种应用于纳米精度测量的光干涉技术工作原理、应用限制及研究现状，包括)射线干涉仪、干涉仪及激光外差干涉技术。关键词纳米精度测量；激光干涉；校准技术中图