论文研究-150纳米砷化镓工艺片上螺旋电感建模 .pdf

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文件名称：论文研究-150纳米砷化镓工艺片上螺旋电感建模 .pdf

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更新时间：2022-09-14 05:10:58

电路与系统

150纳米砷化镓工艺片上螺旋电感建模，缪英武，，本文对某150纳米砷化镓工艺中的片上螺旋电感进行等效电路建模。根据半导体厂家所提供的工艺参数，通过电磁场全波仿真软件对片上电