激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响 (2014年)

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文件名称：激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响 (2014年)
文件大小：264KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-14 05:06:28
自然科学 论文 以加工焦深限制范围内的倾斜平面模型来模拟工件表面的微观不平坦状况，对激光束以一定倾角入射工件表面的光斑畸变及其对刻蚀质量的影响开展了理论和实验方面的初步探索.结果表明，随着激光束入射方向与工件表面法向的夹角(简称入射角)的增大，光斑畸变量也越来越大，振镜沿水平路径扫描的刻蚀线宽始终比竖直路径的大，刻蚀线长始终比竖直路径的小；相对于水平刻蚀路径，竖直刻蚀路径刻槽的任意位置经历的激光辐照时间更长，物质蒸发、重熔更充分，刻槽更深，金属重铸层更厚，刻槽的侧壁和底部形貌更为平整光滑.