文件名称：离子增强沉积Ti/Mo多层膜对钛合金微动疲劳行为的影响 (2011年)
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更新时间：2024-06-03 02:35:56
工程技术 论文
为提高Ti6Al4V钛合金微动疲劳抗力，利用离子增强磁控溅射沉积技术制备了不同结构的 Ti/Mo金属多层膜，评价了膜层的结合强度、韧性、硬度等力学性能和摩擦学性能，对优选出的Ti/Mo多层膜进行微动疲劳试验。研究结果表明：离子增强磁控溅射沉积的Ti/Mo金属多层膜膜层结晶细致，膜基结合强度高，有效地提高了钛合金基材的耐磨性能。调制周期小于200 nm的多层膜呈现出明显的超硬度现象，调制周期为20 nm的多层膜硬度达到最大值。调制周期200 nm的Ti/Mo多层膜结合强度高，强韧综合性能好，具有较好的耐磨和