行业分类-设备装置-基于预测控制和交叉耦合的直驱XY平台轮廓控制方法.zip

【文件属性】：

文件名称：行业分类-设备装置-基于预测控制和交叉耦合的直驱XY平台轮廓控制方法.zip

文件大小：1.43MB

文件格式：ZIP

更新时间：2024-10-02 00:30:49

行业分类-设备装置-基于预测控制和交叉耦合的直驱XY平台轮廓控制方法

【文件预览】：
基于预测控制和交叉耦合的直驱XY平台轮廓控制方法.pdf