文件名称：HVPE反应器内输运现象的数值模拟研究 (2010年)
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更新时间：2024-07-05 08:47:35
自然科学 论文
对用于制备 GaN的具有同心圆喷头的 HVPE (氢化物气相外延)反应器内的输运现象进行了 三维数值模拟研究。在模拟计算中,分别改变总载气进口流量、同心圆喷口进口流量、重力、压强等条件,得到反应器内流场、温场、浓度场的相应变化。根据对模拟结果的分析,得出输运过程的优化条件为:尽 量减小总载气进口流量,适当增大同心圆喷口的双进口流量,并降低反应室内的压强。