文件名称：论文研究-Atomistic Simulation on Ion Implantation and Annealing.pdf
文件大小：283KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-04 11:25:18
simulation, implantation, annealing
离子注入和退火的原子模型模拟，于民，黄如，本文开发了一个可靠高效的分子动力学低能离子注入模拟软件。软件应用了最新的物理模型和一些高效的算法。B，P，As注入的模拟结果��
论文研究-Atomistic Simulation on Ion Implantation and Annealing.pdf
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