Spectroscopic Ellipsometry Principles and Applications

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文件名称：Spectroscopic Ellipsometry Principles and Applications

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文件格式：PDF

更新时间：2013-11-19 20:17:58

Spectroscopic Ellipsometry

介绍椭圆偏振光术测量的原理及其应用。主要涉及光在材料及薄膜表面反射后偏振状态变化及其测量的技术。