论文研究-超导量子比特中铝超导隧道结的性能的研究 .pdf

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文件名称：论文研究-超导量子比特中铝超导隧道结的性能的研究 .pdf

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更新时间：2022-09-04 06:51:04

Al/Al2O3/Al超导隧道结

超导量子比特中铝超导隧道结的性能的研究，沈丹丹，朱冉，超导约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件。我们用双层光刻胶构成悬空掩模，用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结，用一定的氧�