论文研究-基于光谱共焦传感器的石英摆片厚度测量 .pdf

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文件名称：论文研究-基于光谱共焦传感器的石英摆片厚度测量 .pdf

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更新时间：2022-09-05 06:50:48

光学测量

基于光谱共焦传感器的石英摆片厚度测量，刘雪原，钟志，石英摆片厚度的测量能够为石英摆片加工生产提供重要信息，通过对石英摆片的厚度进行测量，可以在时发现并排除有缺陷的产品，提高