文件名称：静电放电电磁脉冲对微电子器件的双重作用 (2011年)
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更新时间：2024-06-05 05:09:45
自然科学 论文
研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件造成的潜在性失效，采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356施加不同电压的ESD应力．结果表明：高电压的ESD注入对2SC3356器件造成的损伤主要是不可恢复的损伤，而低电压的ESD注入对2SC3356器件造成的损伤是可恢复的损伤；ESD的注入对器件有双重作用：一方面ESD在器件中可引入潜在性损伤，另一方面ESD对器件有加固作用，并且注入ESD电压越高，这些作用越明显．