晶圆缺陷检测与分类的卷积神经网络

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文件名称：晶圆缺陷检测与分类的卷积神经网络

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更新时间：2020-11-27 09:53:39

卷积神经网络 缺陷检测

晶圆缺陷检测与分类的卷积神经网络；针对晶圆检验时扫描电镜图像的缺陷检测和缺陷分类两问题，采用了“ ZFNet”的卷积神经网络来分 类晶圆缺陷，并基于该分类器实现了一种“基于块的卷积神经网络”缺陷检测算法。为了提高准确率和加快速度，又改动“更快的区域卷积神经网络”实现了另一种检测算法。