论文研究-影响非感光性聚酰亚胺线宽因素研究 .pdf 时间:2022-09-04 10:52:24 【文件属性】: 文件名称:论文研究-影响非感光性聚酰亚胺线宽因素研究 .pdf 文件大小:565KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-04 10:52:24 聚酰亚胺 影响非感光性聚酰亚胺线宽因素研究,朱万里,黄其煜,聚酰亚胺作为半导体器件常用的钝化层材料,在半导体器件中应用广泛。非感光性聚酰亚胺由于固化后能达到15微米的厚度,广泛应用在� 立即下载