SEMI E4 标准

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文件名称：SEMI E4 标准

文件大小：390KB

文件格式：PDF

更新时间：2020-11-08 11:56:17

Semi SECS

SEMI E4标准，半导体设备串口通信协议SECS-I。标准定义了半导体设备HOST端口与上层系统如EAP的通迅标准。该标准未定义数据格式，数据格式由E5标准定义。