文件名称：数字微镜器件制造精度误差对紫外光调制特性的影响 (2012年)
文件大小：661KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-27 22:30:47
工程技术 论文
数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光强占总光强27 .2 %的情况,也有零0级光强占总光强13 .1 %的情况,理论计算表明,DMD的微镜偏转角存在±1°的误差可以使DMD衍射0级的衍射效率在极大和极小之间变化。这一结论对于选择高能量利用效率的DMD有重要参考价值。