多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构.pdf 时间:2022-09-25 12:03:43 【文件属性】: 文件名称:多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构.pdf 文件大小:2.18MB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-25 12:03:43 LabVIEW 该研究是改变硅表面微结构, 优化硅材料特性的一种新方法, 并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用. 立即下载