多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构.pdf

【文件属性】：

文件名称：多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构.pdf

文件大小：2.18MB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-25 12:03:43

LabVIEW

该研究是改变硅表面微结构， 优化硅材料特性的一种新方法， 并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用．