论文研究-一种用于光学器件封装的圆片级玻璃微透镜阵列的制备 .pdf 时间:2022-09-04 09:52:52 【文件属性】: 文件名称:论文研究-一种用于光学器件封装的圆片级玻璃微透镜阵列的制备 .pdf 文件大小:733KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-04 09:52:52 二元光学 一种用于光学器件封装的圆片级玻璃微透镜阵列的制备,徐超,罗新虎,本文介绍了一种使用Pyrex7740玻璃制备圆片级二元微透镜阵列的方法,它可以应用于红外探测器、LED等光学器件。本工艺基于硅微加工工艺 立即下载