文件名称：论文研究-基于扰动观测器的固化炉温度解耦控制.pdf
文件大小：667KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-30 09:28:23
论文研究
固化炉是微电子制造过程的重要设备，它内部的温度分布具有大时滞、强耦合、非线性的特点。针对固化炉温度模型复杂和加热板热效应耦合的问题，将最小二乘法及阶跃响应法相结合，在工作点附近对固化炉温度建立一阶惯性延时模型，基于扰动观测器（disturbance observer）对芯片固化炉设计了解耦控制系统，实现了不同加热板之间的解耦控制。仿真和实验结果表明，该解耦控制方法能够抑制加热板之间的耦合影响，超调和稳态误差都较小，在过程控制中的同类系统中有较好的推广应用价值。