文件名称：单侧表面约束圆板的过屈曲分析 (1996年)
文件大小：362KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-04 02:33:15
自然科学 论文
利用摄动分析结合打靶法，分析了具有单侧表面约束的圆板，在面内压力与横向力联合作用下发生屈曲和过屈曲问题，得到了在一系列横向力作用下周边固支和简支圆板的过屈曲路径。在微电子元件和微力电系统中大量存在有薄膜－基底结构，此结构中也存在屈曲和过屈曲问题。承受残余压应力作用的薄膜由于屈曲、驱动界面的脱层破坏，同时由于脱层内部处于真空状态，薄膜外的大气压起到了横向力的作用；而基底的刚性则提供了脱层薄膜的横向变形约束。所得结果可用于这类薄膜一基底结构中承压薄膜的屈曲驱动层裂扩展的分析。