文件名称：Errors分析-镀膜文件
文件大小：1.9MB
文件格式：PPT
更新时间：2024-05-16 04:18:08
镀膜
Errors分析 Mean和standard deviation可以是 Absolute或Relative. 通常选择相对的，此时误差与膜层厚度成正比。 （1）对relative errors： 厚度 D [D=nd/l0 for optical thicknesses and d/l0 for geometrical thicknesses] 为 D(1+error). 对 absolute errors 厚度 D 为 (D+error). （2）number of cases ：指用随机误差计算出的不同曲线的数目， （3）如果Include Locking is checked, 则只有那些没有盥洗室的膜层才可变。 （4）如果Include Links is checked, 则每一个linked layers 膜层中的一层随机变化，而其它的膜层的厚度会进行调整，使它们与随机变化的膜层有相同的厚度比例（和original unperturbed 设计中一样）. 如，如果 layer 1 为15nm，layer 2为30nm thick, 它们是关联的，则在Errors中, layer 1可以随机变化，而layer 2会保持厚度为layer 1的二倍。