【文件属性】:
文件名称:膜层厚度(thickness)-镀膜文件
文件大小:1.9MB
文件格式:PPT
更新时间:2021-04-26 10:31:27
镀膜
膜层厚度(thickness)
可以是光学的(optical), 几何的(geometrical), 物理的(physical)或QWOT。
(1)物理厚度:按物理单位(通常是nm)测量的。这种厚度可以转换为晶振监控规格,或溅射线上的沉积时间,
(2) 光学厚度:物理厚度乘以材料的折射率,即光程,再除以参考波长。光学厚度乘以2p就是位相厚度(单位为弧度)。常用光学厚度,
(3)QWOT厚度:其数值为4倍光学厚度,
(4)几何厚度:物理厚度除以波长。