前端工艺和后端工艺.doc

时间:2023-05-11 04:08:07
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更新时间:2023-05-11 04:08:07

前端工艺 后端工艺

前端工艺(FEOL):front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之前的工艺,也可以理解为晶体管的尺寸大小。后端工艺(BEOL):front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之后的工艺,金属互联层,也可以理解为metal的尺寸大小。


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