前端工艺和后端工艺.doc

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文件名称：前端工艺和后端工艺.doc
文件大小：277KB
文件格式：DOC
更新时间：2023-05-11 04:08:07
前端工艺 后端工艺 前端工艺（FEOL）：front-end of layout，就是指在模拟集成电路中contact之前的工艺，也可以理解为晶体管的尺寸大小。后端工艺（BEOL）：front-end of layout，就是指在模拟集成电路中contact之后的工艺，金属互联层，也可以理解为metal的尺寸大小。