论文研究-利用TCAD软件优化决定LDMOS击穿电压的参数 .pdf

时间:2022-09-03 09:50:15
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更新时间:2022-09-03 09:50:15

TCAD

利用TCAD软件优化决定LDMOS击穿电压的参数 ,陆鑫,,通过对决定一个参考LDMOS(Lateral Double-Diffused MOS,横向双重扩散场效应管)器件的源漏击穿电压的各结构及其尺寸,位置等参数在TCAD(Techn


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