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文件名称：基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统
文件大小：841KB
文件格式：PDF
更新时间：2012-10-29 10:35:29
白光干涉; 定量相位成像; 迈克耳孙干涉; 柯勒照明; 自稳定
提出和建立了基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统。该系统以柯勒照明的白光迈克耳孙干涉计为基
础,使用自稳定锁相电路以减少相位噪音,引入相移装置获得定量的相位图像。实验分别以平面镜、标准测试图和
聚苯乙烯小球为样品,获得了清晰的定量相位图像,实现了对样品的实时观测。该装置采用卤素灯照明,达到轴向
分辨力5 nm ,系统中的柯勒照明结构使其具有高空间相干性。实验结果表明,该装置能有效避免系统中其他光学
表面(如系统中的透镜表面) 干扰信号的影响。