改造真空蒸发镀膜机为蒸发溅射两用镀膜机

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文件名称：改造真空蒸发镀膜机为蒸发溅射两用镀膜机

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更新时间：2013-07-19 14:51:02

镀膜机

摘 　 要: 本文阐述了改造普通真空蒸发镀膜机为蒸发与磁控溅射多用途镀膜机的意义。叙 述了两种磁控溅射靶的安装方式、 结构与特点。介绍了改造后的多用途镀膜机在本科生教学 实验和科学工作中的应用与效果。