文件名称:SECS II 标准
文件大小:1.05MB
文件格式:PDF
更新时间:2021-11-26 02:12:49
SECS II HSMS
SEMI组织制定的SECS-II标准,用于半导体生产系统CIM与设备机台间通过网口进行通信
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SECS II HSMS
SEMI组织制定的SECS-II标准,用于半导体生产系统CIM与设备机台间通过网口进行通信