R软件代码转换为matlab-optolithium:光刻模拟软件

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文件名称：R软件代码转换为matlab-optolithium:光刻模拟软件
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更新时间：2021-05-21 19:33:25
系统开源 R软件代码转换为matlab 锂光 它是什么？ Optolithium是一种光学光刻（请参阅参考资料）建模软件，可用于在处理的不同步骤中计算结果。 它是开源软件，并不旨在与高端VLSI制造技术节点相对应。 该项目的主要目标是研究学生的纳米技术过程的基础知识（例如，光学光刻）。 Optolithium是指软件，可用于模拟光刻过程的不同阶段。 在当前版本中，可以模拟以下阶段： 航空影像 抵抗中的航拍图像 抗蚀剂中曝光的潜像 光刻胶中的PEB潜像 制定时间轮廓 抵抗轮廓 也可以使用最多两个参数可变的自动仿真集。 目前，仅实现了2D抗蚀剂轮廓建模，但路线图的重点之一是增加了3D模拟的可能性。 下图显示了365 nmCraft.io过程的抗蚀剂轮廓模拟结果： Optolithium软件主窗口的屏幕快照，其中包含抗蚀剂中的航拍图像的模拟结果，作为光强度的分布。 在此图中也可以看到驻波的影响。 什么是内部？ 该程序可以视为两个主要部分： 核心（OptolithiumC）-软件的一部分，需要高性能计算和整个列表，数组等的不同迭代。 GUI（OptoltihiumGui）-与用户进行交互的另一部分。 该