论文研究-光刻限定区域制备硅纳米线 .pdf

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文件名称：论文研究-光刻限定区域制备硅纳米线 .pdf

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更新时间：2022-09-05 14:29:27

硅纳米线；金属辅助化学刻蚀；光刻限定区域

光刻限定区域制备硅纳米线，于航，端木庆铎，基于金属辅助化学刻蚀机理，在光刻限定区域制备硅纳米线，实验过程中通过调整刻蚀时间来控制硅纳米线长度，通过扫描电子显微镜（