超精密二维工作台自标定技术研究 (2005年)

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文件名称：超精密二维工作台自标定技术研究 (2005年)
文件大小：291KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-21 05:13:48
工程技术 论文 基于刚性运动方程和非线性最优化方法提出了一种超精密二维工作台自标定模型，研究了随机测量误差在自标定过程中的传递特性，在此基础上提出了超精密二维工作台自标定算法。给出了一个应用实例，验证了该算法的可行性和有效性。