五*度纳米级定位工作台的设计研究 (2005年)

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文件名称：五*度纳米级定位工作台的设计研究 (2005年)
文件大小：385KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-21 13:46:15
工程技术 论文 提出一种新型的五*度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能，采用压电陶瓷作为驱动元件，外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件，采用数字PID控制方法，可以实现纳米级精度的定位。给出了多种形式柔性导向机构刚度计算公式及设计实例。