二维光栅平面精密位移测量系统研究 (2007年)

【文件属性】：
文件名称：二维光栅平面精密位移测量系统研究 (2007年)
文件大小：3.42MB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-09 23:33:59
自然科学 论文 文章利用二维衍射光栅作为测量基准进行平面微位移测量，采用偏振干涉的原理设计系统的光路。通过对干涉条纹的光电转换得到质量较好的正交信号，经对系统误差的补偿，把系统的测量结果与双频干涉仪进行对比，此系统可实现纳米级分辨率的二维平面测量。