大行程纳米级共平面二维精密工作台的研究 (2010年)

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文件名称：大行程纳米级共平面二维精密工作台的研究 (2010年)
文件大小：380KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-04-27 21:51:55
工程技术 论文 研究开发了一种大行程纳米级共运动平面二维工作台，该工作台采用宏/微两级驱动，宏驱动由滑动导轨、直流无刷电机、精密丝杠组成，微驱动由平行平板柔性铰链和压电陶瓷组成。对平行平板柔性铰链进行了力学分析，并推导计算了其固有频率。工作台移动范围为50mm×50mm，可实现5nm的运动分辨率。工作台在X、Y方向分别装有衍射光栅计量系统，宏微位移由同一套衍射光栅计量系统进行位移计量，计量系统的有效位移分辨率为2.3mm。该二维工作台具有通用化和小型化特点，可以用于微纳米表面的测量与微机电系统的控制与加工。