文件名称：扩散炉使用说明书.doc
文件大小：276KB
文件格式：DOC
更新时间：2013-04-18 16:38:32
扩散炉
目 录 1．概述 （2） 1．1产品特点 （2） 1．2主要用途及适用范围 （2） 1．3品种、规格 （2） 1．4型号的组成及其代表意义 （3） 1．5使用环境要求 （3） 1．6工作条件要求 （4） 2．结构特征与工作原理 （4） 2．1总体结构 （4） 2．2分部件结构 （5） 2．3系统控制原理 （8） 2．4系统各主要单元功能结构及工作原理 （8） 3．主要性能指标 （11） 4．安装、调试 （12） 4．1安装条件 （12） 4．2安装程序及注意事项 （12） 4．3调试程序及注意事项 （13） 4．4 SiC桨及石英炉门的装调 （14） 4．5调试恒温区的方法及验收判据 （15） 4．6工艺试运行 （16） 5．使用、操作 （16） 5．1温控仪的使用 （16） 5．2恒温槽的操作使用 （18） 5．3计算机的操作使用 （18） 5．4操作过程中应注意事项 （19） 6．常见故障分析与排除 （20） 7．安全 （21）