平面三*度微动工作台的输入耦合分析 (2005年)

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文件名称：平面三*度微动工作台的输入耦合分析 (2005年)
文件大小：3.27MB
文件格式：PDF
更新时间：2021-04-22 21:13:35
工程技术 论文 基于线性分析理论，建立了柔性铰链式平面三*度精密定位平台的分析模型；提出了一种计算该类工作台输入耦合的线性求解方法，该方法具有求解简便和计算量小等优点；针对微动工作平台的特点建立了有限元分析模型，通过有限元仿真，验证了线性法的正确性；讨论了有关参数对工作台输入耦合的影响程度，给出了对输入耦合有较大影响的设计参数。研究结果对设计低耦合输入微动工作平台具有指导意义。