闭环控制的6*度微动工作台的设计 (2006年)

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文件名称：闭环控制的6*度微动工作台的设计 (2006年)
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更新时间：2021-06-18 06:33:38
自然科学 论文 重点探讨了弹性板簧导轨在微动工作中的应用。其目的是获的结构简单、运动精度高的多*度微动台。微动台的基体是各部分相互间均以两组板簧导轨联接而成的整体武结构，微动台在X、Y、Z方向的线位移和绕X、Y、Z轴的角位移是由相应的微位移器产生等值同向或等值反向的推力来实现的，而位移量的大小可通过位移传感器测得，并可进行闭环反馈控制以确保相应微位移器产生等值位移。弹性板簧结构简单，无原理误差，且导轨的几何参数误差为系统误差，可以修正补偿，从设计原理上可保证微动台在各个方向的运动独立，避免相互的耦合。